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    제목 [제52주차 IR52 장영실상] 레이저 활용해 공정오차 최소화
    등록일 2004-12-27
    내용
    "반도체 표면에 레이저로 마킹하는 작업은 웨이퍼 후면에 정확하게 관련 문자와 그림을 써넣어야 하는 공정입니다. 상하 위치를 정확히 일치해 마킹하는 것이 중요하죠."한유희 이오테크닉스 부사장은 레이저 마킹 작업이 반도체 공정 중에서도 특히 정확도와 세밀함을 요구하는 작업이라고 강조했다.

    이를 위해 제품 상하에 카메라를 설치해 마킹을 위한 기준을 잡고 정확한 작업이 가능하도록 했다.

    공정상 다른 어려움은 장치에 부착된 스캐너와 렌즈가 만들어내는 왜곡 현상으로 물체가 찌그러져 보여 작업하기 어려웠던 것. 한 부사장은 "이 문제를 해결하기 위해 레이저 빔이 쪼이는 위치를 스크린으로 관찰하고 그 위치에 대한 오차를 최소화해 정확한 작업이 가능하도록 했다"고 말했다.

    이 기술은 이오테크닉스가 세계에서 가장 먼저 제품 개발에 응용한 것으로 회사가 반도체 공정분야에서 국제적인 경쟁력을 갖추게 하는 데 크게 기여했다.

    "제품 개발 후 미국 고객사에서 납품을 위한 시연을 할 때 장비가 제대로 작동하지 않아 아찔한 경험을 한 적도 있죠. "안병민 과장은 제품 개발 초기에 고객사에서 일어났던 아슬아슬한 경험에 대해들려줬다. 하지만 어려움을 잘 극복했고 고객사는 이오테크닉스의 기술적 차별성을 인정해 주었다. 자신감을 얻은 이오테크닉스는 일본 유럽까지 시장을 확대하고 있다.

    매일경제   2004-12-26 16:47:01

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