에스엔유프리시젼의 비접촉식 삼차원 나노형상 측정장비'는 TFT-LCD(초박막액정표시장치) 간격을 유지시켜 화질을 좌우하는 미세부품(Photo spacer) 형상을 측정하고 실시간으로 데이터를 산출해 낸다.

고품질의 대형 TFT-LCD를 생산하는데 필수적인 이 장비는 2002년 에스엔유프리시젼이 세계 최초로 개발했다.

TFT-LCD 내 삼차원 패턴은 매우 미세한 돌기가 일정 간격으로 촘촘히 나열돼있는 것으로 화면의 휘도와 색상을 좌우하는 중요한 부분이다. 돌기 크기가 일정하지 않으면 휘도와 색상 등이 낮아져 결과적으로 TFT-LCD 생산력이 떨어지게 된다.

에스엔유프리시젼은 삼차원 패턴을 광학적 원리를 이용한 비접촉식 방법으로나노미터 크기까지 세밀하게 측정할 수 있게 했다.

기존 측정기가 접촉식이라 표면이 손상되거나 속도가 느려지는 등 정밀도가 떨어지는 단점을 획기적으로 개선해 국내 LCD업계 생산성 향상에 기여하고 있다.

이 장비는 LG필립스LCD와 삼성전자 등 국내 주요 LCD패널 업체는 물론 일본과 대만 패널제조업체들에 공급중이어서 수출증대에 크게 기여하고 있다. 불과 2년 만에 세계시장 점유율이 70%를 넘어 LCD 장비업계를 석권한 것이다.

<이한나 기자>