지우텍이 개발한 이번 제품은 초대형화하고 있는 LCD 제조라인에 In-Line(생산라인에서 자동화 장비를 총칭) 설비로 적용된 최초 제품. 초미세 회로 형상을 비접촉ㆍ비파괴 방법으로 측정한다.

지우텍은 2003년부터 1년 이상 개발비 21억원을 투입해 기존 원자현미경(AFM)한계를 뛰어넘는 기능을 보유한 LCD용 원자현미경 측정장치 개발에 성공했다.

기존 원자현미경은 일반적으로 연구소와 반도체 제조공정에서 주로 사용됐다.

하지만 최근 TFT-LCD 생산에서 공정 테스트 영역 외에 제품 영역에서도 정밀측정이 필요해짐에 따라 LCD용 인라인 자동화 원자현미경 시스템이 필요해졌다.

이미 많은 업체가 새로운 LCD용 인라인 자동화 원자현매경 시스템 개발을 시도했으나 모두 실패했다. 이런 의미에서 이번 원자현미경 측정장치 기술개발은 큰 가치를 지닌다고 회사측은 설명했다.

지우텍이 개발한 'TGV' 시리즈는 과거 연구실 수준 특정 장비에서 벗어나 인라인 공정 5세대 이상에서도 적용할 수 있는 최초 측정장비 시스템이다.

과거 초미세 회로를 검사하기 위해서는 대상 샘플을 적당한 크기로 잘라 시편을 만들어 원자현미경을 통해 절단면을 검사하는 방법만이 가능했다. 하지만 이번 제품은 원자간 반발력(판데르 왈스 힘)을 이용한 검사 시스템을 도입해한 단계 높은 기술력을 자랑한다.

지우텍 관계자는 "TFT-LCD 고집적화에 따라 원자현미경 수요가 크게 증가해 2008년에는 국내시장 500억원, 세계시장 1000억원 등 수요가 있을 것으로 예상한다"며 "시장 선점을 통해 확고한 선두주자로 자리잡을 수 있도록 노력하겠다"고 말했다.