전자부품 전문 제조업체인 실트론의 `극저결함 실리콘 웨이퍼`가 2007년 14주차 IR52 장영실상을 수상했다.

실트론은 반도체 칩 기판으로 사용되는 실리콘 웨이퍼의 결함을 최소화한 나노급 반도체 소자기판을 개발했다.

특히 실트론의 웨이퍼는 컴퓨터 휴대폰 게임기 디지털TV 등 최근 수요가 늘고 있는 제품에 들어가는 나노급 반도체 부품의 기초 소재로 우수한 품질을 보여주고 있다는 평가를 받고 있다.

2003년 1월~2005년 4월까지 2년3개월여 개발기간에 13억4400만원을 투입해 개발했다.

◆ 제품ㆍ기술적 특징 = 메모리 반도체 회로선폭이 수십 나노 크기로 작아짐에 따라 실리콘 웨이퍼 제조업체들은 45㎚(나노미터) 이하 크기의 결정 결함까지 제어된 극저결함 실리콘 웨이퍼 제조기술과 원가경쟁력을 확보하지 못하면 시장에서 생존할 수 없다는 것이 기정사실처럼 받아들여지고 있다.

실트론은 경쟁사와 비교해 웨이퍼 결함 수준을 획기적으로 낮췄다.

웨이퍼 제작시 중요한 산소 농도를 자기장 기술을 이용해 정밀하게 제어하도록 해 추가될 수 있는 하드웨어 비용을 최소화했다.

이홍우 부장은 "기존에 갖고 있던 극저결함 웨이퍼를 제조한다면 고객이 원하는 품질을 맞출 수 없었고 이익이 나지 않는 상황이었기 때문에 새로운 개념의 극저결함 웨이퍼 제조기술을 개발할 수밖에 없었다"며 "실리콘 웨이퍼 품질 향상을 위해 필수적인 실리콘 결정에나타나는 결함 최소화와 산소 농도 조절에 주력했다"고 말했다.

이 기술은 국내외에 총 20건의 특허로 출원됐다.

◆ 경제적 파급효과 = 실트론의 극저결함 실리콘 웨이퍼는 2005년부터 본격적으로 양산에 들어가 매년 30% 정도의 매출성장률을 보여 지난해에는 1600억원 규모의 매출을 올렸다.

현재 세계시장 점유율이 25%에 달하는 것으로 추산되는 실트론의 실리콘 웨이퍼는 올해도 약 2100억원의 매출을 올릴 것으로 예상된다.

지난해 8인치 기준 극저결함 실리콘 웨이퍼의 세계시장 규모는 7200억여 원에 달하고 있으며 그 규모는 매년 상승하는 추세다.

극저결함을 원하는 국내 반도체 회사들은 주로 일본 업체에서 공급을 받았지만 실트론의 제품 개발로 수익성 향상에도 도움을 주고 있다.

특히 45㎚ 이하 크기에서 결함 제어 수준이 다른 외국 경쟁사와 비교해 매우 우수하고, 제품 생산성이 뛰어나기 때문에 제조원가 경쟁력을 갖추고 있다.

또 제품이 반도체 공정에 투입됐을 때 우수한 품질의 반도체 칩을 생산할 수 있다는 장점도 있다.

<개발주역 프로필>
성명 / 직위 / 개발경력 및 공적
이홍우 / 부장 / 극저결함 웨이퍼 개발 총괄
조현정 / 과장 / 시스템 및 공정 개발
최일수 / 과장 / 제품 설계
홍영호 / 대리 / 원가절감 공정 기술


[유용하 기자]
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