반도체ㆍLCD 제조장치 개발 전문업체인 케이씨텍(대표 이순창)이 개발한 `대기압 플라즈마 세정기 KAP50C`가 `2007년 13주차 IR52 장영실상`을 수상했다.

케이씨텍은 플라즈마 세정기 관련 모든 부품을 국산화했다.

또 자외선을 이용해 LCD를 세척했던 방식에서 기체에 에너지를 가해 이온화시킨 플라즈마 상태에서 세정하도록 해 공정속도를 높였다.

또 진공상태가 아닌 대기압 상태에서도 세척이 가능해져 초박막액정표시장치(TFT-LCD) 제조 공정 중 박막 접착력이 강화된다.

플라즈마 세척공정은 그동안 진공에서만 가능했다.

◆ 제품ㆍ기술적 특징 = 이번 8세대용 대기압 플라즈마 세정기 개발로 전량 수입에 의존하던 자외선 세정기를 대체하면서 장비 운영비용을 60% 이상 절감할 수 있게 됐다.

장비 크기도 기존에 비해 80%나 줄였다.

기존 자외선 세정기는 사용시간이 길어질수록 성능이 떨어져 자외선 램프를 갈아줘야 하고, 사용중 열이 많이 발생해 냉각수를 계속 사용해야 하는 불편이 있었다.

또 자외선을 이용한 세정기는 전기 에너지를 빛으로 변환시키고 그 빛으로 산소를 발생시켜 세정하는 등 공정이 복잡하고, 수명이 3000시간에 불과하다.

그러나 케이씨텍 제품은 직접 산소에 전기에너지를 가해 플라즈마 상태로 만들어 세정하는 방식을 이용하기 때문에 세정효율이 높다.

열발생을 최소화하는 구조로 설계된 만큼 냉각수를 사용하지 않아 유지비용이 절감되고 장비가 비교적 간단한 구조여서 유지보수가 편리하다는 장점이 있다.

◆ 경제적 파급효과 = 현재 국내외 연구소와 기업들은 성능과 공정 적합성 등 때문에 자외선 세정기 대신 대기압 플라즈마 세정기를 채택하는 사례가 늘어나고 있다.

이에 대한 연구도 활발하다.

특히 나노기술과 반도체 공정 기술이 갈수록 발전함에 따라 건식세정과 표면처리 공정이 중요하게 인식되고 있어 대기압 플라즈마 공정을 적용하는 분야가 급속히 확대되고 있다.

올 1분기부터 충남 탕정 삼성전자 8세대 LCD라인에 납품을 시작하는 등 보급도 늘어나는 추세다.

케이씨텍은 전량 수입에 의지하던 자외선 세정기를 대체함에 따라 2010년 약 400억원으로 예상되는 표면 전처리 시장에서 점유율 40%를 목표로 하고 있다.

이순창 대표는 "플라즈마 생성시 발생하는 열을 최소화하기 위해 내부에 열을 최대한 처리할 수 있도록 설계했다"고 말했다.

[유용하 기자]
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