△왼쪽부터 바양자르갈 차장, 이동건 상무이사, 남기중 연구소장, 이대섭 부장.
다원넥스뷰에서 개발한 '레이저 마이크로 본딩 시스템'이 35주 차 IR52장영실상을 수상했다. 이 제품은 반도체 생산 과정에서 테스트기가 칩 상태를 정확히 판단할 수 있게끔, 중간 역할을 하는 '프로브카드'에서 신호를 전달하는 각 탐침이 자신의 자리에 정확하게 있을 수 있도록 고정해준다.

반도체 원판에 회로가 제대로 형성됐는지, 전기적 특성에 문제가 없는지 확인하기 위해서는 테스트를 해야 한다. 프로브카드에 있는 탐침은 웨이퍼의 각 전극에 맞닿아 전기신호를 테스트기에 전달한다. 다원넥스뷰 제품은 접촉부가 10마이크로미터(㎛)에 불과한 탐침을 머리카락 굵기의 절반 간격(55㎛)으로 최대 12만개까지 초정밀하게 접합할 수 있도록 만들어졌다.

남기중 다원넥스뷰 연구소장은 "프로브카드 기판과 탐침이 담긴 통을 장비 안에 넣으면 장비가 하나씩 자동으로 핀에 납을 살짝 묻혀 원하는 위치에 갖다놓고, 이를 레이저로 붙이게 된다"고 설명했다.

기판 회로의 위치정보만을 이용해 탐침을 접촉하도록 하면 기판 자체 오차 때문에 탐침 접촉에도 필연적으로 오차가 발생한다. 다원넥스뷰는 이 문제를 해결하기 위해 초정밀 3차원 자동 초점 측정장치를 세계 최초로 개발해 적용했다.

매우 세밀한 공정이 필요했기에 개발 또한 쉽지 않았다. 장비 자체의 오차가 1㎛ 수준에 그쳐야 했다. 다원넥스뷰는 화강암 재질의 부품을 본체로 사용해 오차를 줄였다.

이 제품은 회사 매출을 끌어올리는 효자 상품이 됐다. 2020년에만 약 30억원의 매출을 올렸다. 2021년에는 매출액 60억원을 기록하며 수출액도 16억원에 달했다.



■ 주최 : 과학기술정보통신부

■ 주관 : 매일경제신문사 한국산업기술진흥협회

[정희영 기자]
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