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제목 [IR52 장영실상] 나노기술 주도할 원자현미경
등록일 2004-05-11
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2004년03월28일 15:47










올해 13번째주 IR52 장영실상에 PSIA(대표 박상일)가 개발한 차세대 원자현미 경이 선정됐다.
원자현미경은 광학현미경과 전자현미경의 뒤를 잇는 제3세대 현미경으로 나노 기술 발전을 주도하고 있는 첨단계측장비. 원자현미경은 전자현미경에 비해 유지비와 측정비용이 저렴할 뿐만 아니라 측 정 대상에 손상을 주지 않는다.
이 때문에 제품 생산과정에 원자현미경을 이용 한 직접 검사가 가능하다는 장점이 있다.
PSIA가 개발한 원자현미경(XE-100)은 정밀하게 제작된 미세한 탐침을 사용해 측정 대상 표면의 형상을 원자 수준까지 세밀하게 볼 수 있도록 만들어졌다.
기존의 원자현미경은 원통형 압전 구동기로 측정 대상을 수평과 수직방향으로 동시에 움직여 관찰하기 때문에 수평과 수직축간의 상호 간섭이 발생된다.
이 때문에 이미지가 왜곡되고 수직축의 응답속도가 느려 수직 단차가 큰 관찰대상 은 측정할 수 없는 한계를 갖고 있다.
반면 PSIA가 개발에 성공한 XE-100은 수직축과 수평축의 움직임을 따로 분리해 정확도와 측정속도를 크게 높였다.
국내에선 원자현미경 개발에 성공한 사례가 PSIA를 제외하곤 없으며 미국과 일 본의 전자현미경 업체들도 10년 전에 개발된 제품을 아직까지 판매하고 있는 등 이렇다 할 만한 기술진보가 없는 상황이다.
XE-100은 최근 미국 특허와 한국신기술인증서(NT마크)를 획득했을 뿐만 아니라 출시된 지 2년 만에 서울대, 카이스트 등 국내 연구소에 70여 대를 판매해 전 량 수입에 의존했던 원자현미경에 대한 수입 대체효과를 거두었다.
PSIA는 원자현미경뿐만 아니라 현미경 구조의 핵심이 되는 스캐너, 헤드, 제어 기 등을 모두 자체 개발했다.
원자현미경과 현미경 부품을 미국항공우주국(NASA)과 영국 유니레버(Unilever) 등 세계 유수 연구기관과 대학에 수출하는 등 선진국 경쟁 제품보다 우수한 성 능을 인정받고 있다.
국내 원자현미경 시장은 현재 40억원 정도 규모에 불과하나 향후 나노테크놀러 지나 바이오테크놀러지 등의 성장을 감안하면 약 5년 후에는 200억원대 시장으 로 성장할 것으로 기대된다.
해외 시장 규모는 약 2억달러 정도로 추정된다.

<이근우 기자>
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