태양광 장비 제조업체인 에스엔유프리시젼이 개발한 `CIGS 박막 태양전지 양산용 셀레늄(Selenium) 증착시스템`이 2013년 제1주차 IR52 장영실상을 수상했다. 이 제품은 연간 100㎿ 규모 CIGS(구리ㆍ인듐ㆍ갈륨ㆍ셀레늄) 박막 태양전지 생산에 필요한 셀레늄을 얇게 증착하는 설비다.

현재 실리콘 태양전지를 대체하는 CIGS 태양전지는 다양한 제품에 적용 가능하고 가볍고 얇은 장점이 있어 차세대 태양전지로 불린다. 이들 4가지 원소 가운데 셀레늄은 빛을 받으면 전자를 내어 놓는 핵심 물질로 거의 모든 물질과 화학 반응을 하기 때문에 증착용(얇은 막을 입히는 것) 장비를 제작하기 어려운 물질이다. CIGS 박막 태양전지 제조에서 핵심은 셀레늄 증착 장비라 할 수 있다. 구리ㆍ인듐ㆍ갈륨이 입혀져 있는 막 위에 셀레늄을 고온으로 기화시켜 유리 위에 1㎛(마이크로미터ㆍ1㎛는 100만분의 1m) 정도 얇은 박막을 입히는 과정이다. 이 제품은 98% 이상 높은 생산 시간(연간 365일 가운데 98% 생산, 2%는 유지보수)과 증착 안정성(두께 불균일도는 5% 이내)을 특징으로 한다.