IR52장영실상

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제목	[제16주차 IR52 장영실상] 디바이스이엔지 / OLED 파인메탈마스크 세정장비
등록일	2020-05-11
내용	△왼쪽부터 김명기 책임연구원, 윤창로 연구소장, 김현우 수석연구원. 디바이스이엔지가 개발한 `유기발광다이오드(OLED) 파인메탈마스크 세정 장비`가 16주차 IR52 장영실상을 수상했다. 이는 스마트폰 화면 등에 쓰이는 OLED 패널을 생산하는 데 필수품인 파인메탈마스크를 세정하는 장비다. 감압 증기 건조 방식이 적용돼 건조용 인화성 유기 용매인 아이소프로필알코올(IPA) 사용량을 대폭 줄일 수 있어 친환경적이다. OLED와 고해상도의 능동형 유기발광다이오드(AMOLED)는 원하는 패턴의 RGB(빨강·초록·파랑) 화소 패턴을 제작하기 위해 진공 증착 공정에 파인메탈마스크를 반복적으로 사용한다. 이때 파인메탈마스크에 누적 증착된 유기물이 일정 두께를 넘어서면 원하는 크기와 형태의 RGB 화소 패턴을 만들 수 없는 문제가 발생한다. 주기적인 마스크 세정이 필요한 이유다. 기존에는 먼저 물로 마스크를 세척한 뒤 이를 물보다 잘 마르는 IPA에 담갔다가 바람으로 표면을 건조시켰다. 이로 인해 다량의 IPA를 취급해야 했고, 건조 과정에서 용매가 오염되는 등 문제가 있었다. 반면 디바이스이엔지의 OLED 파인메탈마스크 세정 장비는 젖은 마스크를 체임버에 넣고 내부 압력을 대기압보다 낮춘 상태에서 IPA 증기를 공급해 마스크를 건조시킨다. 압력이 낮아지면 액체 기화가 더 잘 일어나는 원리를 활용한 것으로, 마스크 1회 건조 시 IPA 사용량을 기존보다 90% 이상 줄일 수 있는 것으로 나타났다. 윤창로 연구소장은 "OLED 파인메탈마스크 세정 장비의 인화성 물질 사용량을 크게 줄인 덕분에 까다로운 환경안전 규제로 판매에 제약이 있었던 해외 고객사들과도 신규 거래를 할 수 있게 됐다"고 말했다.