IR52장영실상

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제목	[제14주차 IR52 장영실상] 넥스틴 / 웨이퍼 결함 검출기
등록일	2017-04-14
내용	△왼쪽부터 윤상복 넥스틴 연구소장, 지의철·최유식 수석연구원, 박태훈 대표. 반도체 공정에서 웨이퍼상의 미세한 결함을 파악하는 건 핵심 작업과제 중 하나다. 국내에서 이를 전문적으로 수행할 수 있는 장비는 대부분 외국산이었다. 하지만 이를 국산화해 좀 더 고도화된 기술로 반도체 웨이퍼 결함을 알아내는 길이 열렸다. 중소업체 넥스틴이 개발한 반도체 웨이퍼 결함 검출기 '이지스(AEGIS)'가 올해 제14주차 iR52 장영실상 주인공으로 선정됐다. 이지스는 웨이퍼 표면에 미세 회로를 생성하는 반도체 공정에서 미세한 패턴 결함과 이물질을 광학 이미지 비교 방식으로 검출하는 장비다. 이 분야 장비는 미국 KLA-텐코가 사실상 독점해 왔다. 이 분야 세계시장 규모 2조원 가운데 80%가량을 이 회사 제품이 차지하고 있다. 하지만 넥스틴은 이보다 더욱 정교한 결함 검출기인 이지스를 개발했다. 이지스와 미국 KLA-텐코 장비 간 가장 큰 차이는 이미지 촬영 기술에 있다. 미국 장비는 소면적 센서를 이용해 1차원 선형 이미지만 촬영하는 기법으로 웨이퍼 결함을 파악한다. 그러나 이지스는 세계 최초로 다중 센서를 이용해 빛을 공간적으로 분할하는 기술을 적용함으로써 대면적 2차원 이미지 촬영이 가능하다. 하나의 광원을 이용해 암조명과 명조명을 동시에 구현한다. 특히 이지스는 자외선(UV)과 이보다 파장이 더 짧은 '딥(Deep) UV'를 활용해 웨이퍼 표면을 찍고 미소 패턴 차이를 소프트웨어로 검사해 결함을 발견해 낸다. 광학 기술로 촬영한 이미지의 패턴 결함을 독자적인 소프트웨어를 통해 검출해 내는 것이다. 사실 반도체 미소 패턴 결함 검사 기술은 첩보 위성의 광학 기술과 이미지 처리 기술을 기반으로 하기 때문에 국방 기술이 민간으로 이전돼 상업적 성공을 거둔 대표적인 분야다. KLA-텐코도 첩보 위성 기술을 개발하던 이스라엘 연구진이 설립한 회사로 지금도 이스라엘에 연구소를 두고 있다. 2000년대 초 KLA-텐코 미국 본사에서 근무했던 박태훈 넥스틴 대표는 한국으로 돌아와 국내 기술진을 모아놓고 이 제품 개발에 성공했다. 특히 박 대표는 이스라엘에 현지 연구소까지 설립해 이스라엘 연구진을 영입하며 기술을 완성했다. 지난해 이지스 개발을 완료하고 상용화까지 성공시킨 넥스틴은 최근 개발한 3차원 방식 웨이퍼 결함 검출기인 '아이리스(IRIS)'까지 1차 개발을 완료했다.