LG전자가 14억5000만원을 투자해 2000년 3월부터 1년 간의 노력끝에개발했다.

■디스플레이 검사장비 핵심 기술 확보■

주로 노트북PC와 벽걸이용 TV화면에 사용되는 TFT-LCD는 현재 5세대제품 양산이 본격화되면서 점차 대형화하는 추세다. TFT-LCD의 대형화와 함께 검사장비의 성능 향상도 절실히 요구됐다. 검사장비의 정밀화와 고속화가 제품생산시간 단축에 필수적이기 때문이다.

LG전자는 LG필립스LCD의 5세대 생산라인 투자 결정과 동시에 미세 패턴검사기 연구개발에 착수해 실제 투자가 시작된 시점에 개발을 완료해 생산라인에 적용하게 됐다.

미세 패턴검사기 개발을 통해 다층 박막내 미세결함을 고속으로 발견하는 데 필요한 광학 기술 및 이미지 처리 기술을 확보함으로써 높은수준의 기술적 자립을 달성할 수 있게 됐다.

■기술경쟁력 세계 최고■

미세 패턴검사기는 LG전자 검사기술그룹이 개발한 영상처리 시스템을기반으로 운영되어 세계 최고 수준의 검사속도(초당 120㎜)를 자랑한다. 현재 세계 TFT-LCD 패턴검사 부분을 독점하다시피한 한 외국기업의 장비보다 30%나 빠른 속도다.

본 장비의 개발로 연간 약 200억원 이상의 수입대체효과가 발생할 것으로 기대된다.