IR52장영실상

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제목	[제52주 IR52 장영실상] LG디스플레이,선익시스템 / In-Situ 박막 두께 측정 System
등록일	2014-12-30
내용	왼쪽부터 박성철·이종명 책임연구원, 최창식 수석연구원, 장태훈 주임연구원. LG디스플레이와 선익시스템이 개발한 ‘In-Situ(실시간) 박막 두께 측정 시스템’이 2014년 제52주차 IR52 장영실상을 수상했다. TV, 스마트폰, 노트북 등 전자기기 수요가 늘면서 유기발광다이오드(OLED)의 중요성이 부각되고 있다. OLED는 기존에 널리 사용되던 LCD보다 훨씬 더 선명한 색상을 구현할 수 있다는 장점을 가지고 있다. OLED 증착 공정은 물질을 끓여 그 증기를 이용하는 방식으로 이를 통해 패널 기판에 유기물질을 입히게 된다. 이 과정에서 패널 기판에 증착막을 균일하게 만드는 것이 매우 어려운 과정이었다. OLED 제조공정은 LCD 제조공정에 비해 수율(완성된 제품 중 양품의 비율)이 낮아 증착에 품질관리 기술이 필요했다. LG디스플레이는 이 문제를 해결하기 위해 디스플레이의 두께를 측정하는 새로운 기술 개발에 매진했다. 순수 국내 기술로 기존 두께 측정 기술의 한계를 극복하려다보니 개발 과정에서 어려움이 뒤따랐다. 지금까지 아무도 시도하지 않았던 미개척 분야였기에 시료 확보와 평가에서 난항에 직면했다. LG디스플레이는 기술문제를 해결하기 위해 신기술 공모를 했고 선익시스템이 참여했다. LG디스플레이는 선익시스템이 개발한 실험용 증착장비를 활용해 다중 레이어 측정, 글라스 전면 측정 등 다양한 측정 기능기술을 개발했다. 디스플레이 업계에서 불가능했던 자동 얼룩 검사도 가능해져 추가적인 품질 향상 효과와 매출 증대를 기대할 수 있게 됐다. LG디스플레이는 자사 OLED 제품 수율 향상으로 2018년까지 306억원의 경제적 효과가 나타날 것이라고 전망했다. LG디스플레이와 함께 제품 개발에 성공한 선익시스템은 2018년까지 장비 매출이 500억원에 달할 것으로 예측했다.