제품소개

용도 및 기능

• OHT(Overhead Hoist Transport)는 반도체를 생산하는 Clean Room 내에서 웨이퍼 등이 담긴 용기 (FOUP*, FOSB** 등)를 제조 공정 설비 간 이송하는 장치로서, 천장에 설치된 레일을 따라 자동으로 운영되는 시스템입니다.
  
  * FOUP: Front Opening Unified Pod
  ** FOSB: Front Opening Shipping Box

차별적 특징

• 타제품 OHT 시스템 진동값 0.8G 대비 현 제품 0.6G로 저진동 반도체 반송이 가능하고, 고속 자동화 반송이(최대 5m/s 주행 합류부 최대 3.3 m/s 고속 유지) 가능합니다. 또한 자가 진단 기능을 탑재하여 OHT 운영 중 발생할 수 있는 오류를 스스로 진단하고, 라인에서 발생할 수 있는 장애 횟수를 줄여서 정비 및 유지보수를 위한 시간을 단축하고, 장애 상황에 따른 조치 가이드를 제공하여 작업자 작업 능력 상향 평준화가 가능하도록 발전된 기술을 보유하고 있습니다. 생산성 측면에서도 지능형 시스템을 접목하여, 자동 반송 및 경로 최적화를 통한 반송량 최대화와 반도체 공정상 적시에 웨이퍼 투입이 가능하도록 하여 반도체 생산량 극대화하였습니다. 본 제품은 작업자 안전을 최우선으로 하는 시스템도 적용되었으며, 자동 반송으로 공장 내 위험 지역 인력 투입을 제거하고 반송물 낙하 방지, 대차 충돌 방지를 통한 인명 피해 최소화가 가능합니다.

담당부서

• 기술전략그룹(0416208100)