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    제목 [IR52 장영실상] 삼성전자 '탬퍼스 시스템', 반도체 핵심장비 EUV 문제 생기면 3분내 분석 가능
    등록일 2022-10-11
    내용

    △왼쪽부터 김정환 마에스트로, 황상민 수석, 김길환 수석, 최아련 책임.
    극자외선(EUV) 노광 설비는 반도체 산업의 핵심 장비 중 하나로 꼽힌다. EUV 노광 설비를 효율적으로 점검하는 삼성전자의 '탬퍼스 시스템'이 40주 차 IR52 장영실상을 수상했다.

    반도체 패권 경쟁이 이어지는 시대, 13.5㎚(나노미터) 파장의 EUV를 사용하는 노광 설비를 확보하고 효율적으로 운영하는 것은 반도체 양산 기술 분야에서 앞서 나가기 위한 핵심 경쟁력이다. EUV 설비 공급 또한 한정적이기에 보유한 설비의 효율성을 극대화할 필요성은 더욱 크다. 탬퍼스 시스템은 설비에 이상이 생겼을 때 원인을 다각도로 분석해 빠르게 문제점을 확인할 수 있게 해준다.

    개발 과정에서 난관도 있었다. 삼성전자는 "EUV 노광 설비 또한 하나의 생산 설비일 뿐이며, 그동안 개발한 다양한 인공지능 알고리즘을 활용하면 엔지니어들의 노하우를 단번에 대체할 수 있을 것으로 믿었다"면서 "그러나 시스템에 적용된 인공지능 알고리즘의 정확도는 한계를 보였다. 더 이상 발전된 모습을 보여주지도 않았다"고 밝혔다. 관건은 현장 엔지니어들이 경험을 통해 축적한 노하우, 판단의 흐름을 모델링화해 시스템에 녹여 내는 것이었다. 시스템 개발 담당 엔지니어와 노광 설비 담당 엔지니어의 이해도 차이를 극복해야 했다. 서로 다른 영역의 전문가들이 '뇌 동기화'를 위해 여러 차례 세미나와 토론, 대화를 가졌다.

    이렇게 만들어진 탬퍼스 시스템을 적용한 결과 성능에 이상이 생겼을 때 유형별로 자동으로 분류된 결과를 볼 수 있게 됐다. 기존에는 성능 이상점을 분석하는 데 몇 시간 이상이 걸렸지만, 시스템이 적용된 뒤에는 엔지니어가 네트워크를 통해 접속해 3분 이내로 문제를 확인할 수 있다.

    EUV 설비 업체에서 판매하는 분석 시스템도 있지만 설비에서 기록되는 데이터만 분석한다는 한계가 있었다. 설비가 반도체공장 내 다른 설비나 계측기, 시스템과 연결돼 운영되는 환경을 파악하기 힘든 것이다. 탬퍼스 시스템은 모든 주변 환경에 대해 데이터를 취합하고 분석해 엔지니어에게 빠르고 정확한 정보를 제공할 수 있다.

    삼성전자는 "새로운 개념의 설비 모델을 먼저 도입하고, 운영 노하우를 경쟁국보다 앞서 축적해 나가야 반도체 양산 기술의 리더십을 유지할 수 있다"며 "신규 생산 설비 생산성 극대화를 통해 경쟁국들과의 초격차를 유지할 것"이라고 밝혔다.



    ■ 주최 : 과학기술정보통신부

    ■ 주관 : 매일경제신문사 한국산업기술진흥협회

    [정희영 기자]
    [ⓒ 매일경제 & mk.co.kr, 무단전재 및 재배포 금지]
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